超聲波干式除塵機(jī)
應(yīng)用范圍
適用于電池涂布、半導(dǎo)體器件和玻璃基板的除塵。
設(shè)備優(yōu)勢(shì)
干式非接觸除塵的方式,避免污染或損傷材料表面
超聲波除塵頭無(wú)需維護(hù),只需維護(hù)風(fēng)機(jī)及更換濾芯
相比傳統(tǒng)非接觸式風(fēng)刀除塵,能去除6um以下塵粒
科學(xué)設(shè)計(jì)的封閉循環(huán)系統(tǒng),不會(huì)污染潔凈室
主要參數(shù)
腔體壓力
4-5KPa
負(fù)壓口壓力
-4~-1KPa
工作距離
5mm以內(nèi),1.5mm最佳
使用環(huán)境
萬(wàn)級(jí)以下干燥無(wú)塵車間
功率
7.5KW/11.5KW
電源
380V,50/60HZ
處理風(fēng)量
>600m3/h
過(guò)濾效率
99%,0.3um精度
推薦產(chǎn)品